技术特点
无声板式放电技术；
本地和远程控制模式可选；
触控界面，简单易上手；
水冷浓度可达 350g/Nm3 以上；
多元催化技术，低 N2 掺杂；
高纯陶瓷介质， 满足半导体洁净要求；
多种 MFC 与 APC 可选;
2 路发生器；每路 4 个 cell；
技术参数
型号 | ODS-9435-N42G |
性能配置 | 发 生 器：2 只 (Max 4 只) Cell 数量：4 cell/CH 臭氧产量：120g/H/CH 以上 285g/m3 (18.5wt%)@2.5slm*2CH 冷却方式：水冷 |
产生浓度 | Max350g/Nm3 |
流量压力 | 进气压力：＜72.5psig 流量范围：500-5000sccm/CH O2-MFC 量程：5000sccm/CH N2-MFC 量程：5sccm/CH |
工作背压 | 15-45psig ，压力：20-30psig |
冷 却 水 | 温 度：18℃±2 进水压力：＜5bar； 进水流量：＞3lpm/CH 总水流量： ≥6lpm |
系统控制 | 触控人机界面，远程/本地运行，开环/闭环模式 |
浓度控制 | 开环功率控制，闭环浓度控制 |
控制通讯 | Remote I/O, 模拟量 0-5V ，0-10V 可选, 28pin 接头，Modbus TCP 通讯 |
供电电源 | 208V ，三相四线，50/60Hz, 1.5KW/CH ，总功率 3.5KW 空开：15A ，接 口：PG 接头 |
控制接 口 | 远程控制接 口：28pin Connector Female Modbus TCP 通讯：RJ45 网 口 |
管路接 口 | 氧气接 口：3/8" MVCR 氮气接 口：1/4" MVCR 臭氧接 口：1/4" MVCR 冷却水接 口：1" NPT 内螺纹 |
外形尺寸 | W*D*H: 620*950*2079mm（含地脚） |
工作环境 | 环境温度 5-35℃室内使用，湿度 60%以下 |
安全保护 |
发生器故障报警，冷却水超压/过流报警，冷却水超温报警等，气体超压保护报警，工艺参数（流量，背压，浓度）超限报警，排风压差报警，安全门开关报警，臭氧泄露报警，冷却水泄露报警等；满足 SEMI S2 等行业安全认证； |
PID控制原理图
接口列表
NO. | 接口 | 型号 | 备注 |
1 | PO2 进气口 | 3/8" MVCR | |
2 | PN2 进气口 | 1/4" MVCR | |
3 | O3 出气口 | 1/4" MVCR | |
4 | 冷却水进口 | 1" NPT 内螺纹 | |
5 | 冷却水出口 | 1" NPT 内螺纹 | |
6 | 供电 | PG 接头 | |
7 | Remote Control | DB28 Female | 远程控制信号 |
8 | Modbus TCP | RJ45 网 口 |
臭氧系统尺寸图
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。